Uudised

Selles artiklis analüüsitakse mitmest vaatenurgast tooteomadusi ja rakenduse stsenaariume Tantalumi karbiidi katmise ja räni karbiidi katte.

Õhuke kilede sadestumine on kiibitootmisel ülioluline, luues mikroseadmeid, ladestades kiled 1 mikroni paksuste CVD, ALD või PVD kaudu. Need protsessid ehitavad pooljuhtide komponente vahelduvate juhtivate ja isoleerivate kilede kaudu.

Pooljuhtide tootmisprotsess hõlmab kaheksat etappi: vahvli töötlemine, oksüdeerimine, litograafia, söövitus, õhuke kile ladestumine, ühendamine, testimine ja pakendamine. Liivast pärit räni töödeldakse vahvliteks, oksüdeerub, mustriline ja söövitatakse ülitäpsetele vooluringidele.