Uudised

Selles artiklis kirjeldatakse peamiselt ränikarbiidkeraamika laialdasi kasutusvõimalusi. Samuti keskendutakse ränikarbiidkeraamika paagutamispragude tekkepõhjuste analüüsile ja vastavatele lahendustele.

Pooljuhtide tootmises söövitustehnoloogia puutub sageli kokku selliste probleemidega nagu laadimisefekt, mikro-sooneefekt ja laadimise efekt, mis mõjutavad toote kvaliteeti. Paranduslahendused hõlmavad plasma tiheduse optimeerimist, reaktsioonigaasi koostise reguleerimist, vaakumisüsteemi tõhususe parandamist, mõistliku litograafia paigutuse kavandamist ja sobivate söövitusmaski materjalide ja protsessitingimuste valimist.