Uudised

Quartzi paat on peamine koormuse kandv komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessis. Seda kasutatakse peamiselt vahvlite kõrgtemperatuuri töötlemiseks, näiteks difusioon, oksüdeerimine ja lõõmutamine. Selle suurepärane termiline stabiilsus, madala reostuse omadused ja korrosioonikindlus muudavad selle pooljuhtide tööstuses hädavajalikuks materjaliks. See artikkel täpsustab materiaalseid, füüsilisi omadusi, klassifitseerimist, kvartspaadi rakendusstsenaariume ja selle erinevusi PECVD grafiitpaadist.

PECVD grafiidipaadi põhimaterjal on kõrge puhtusega isotroopne grafiidimaterjal (puhtus on tavaliselt ≥99,999%), millel on suurepärane elektrijuhtivus, soojusjuhtivus ja tihedus. Võrreldes tavaliste grafiidipaatidega, on PECVD grafiidipaatidel palju füüsilisi ja keemilisi omadusi eeliseid ning neid kasutatakse peamiselt pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tööstusharudes, eriti PECVD ja CVD protsessides.

MOCVD grafiidialused mängivad olulist rolli epitaksiaalses protsessis. See artikkel annab üksikasjaliku analüüsi MOCVD grafiidisalvede valimise kohta materiaalsete omaduste ja rakenduse stsenaariumide vaatenurgast.