Uudised

Ränikarbiid (SIC) kristallkasvu ahjud mängivad olulist rolli järgmise põlvkonna pooljuhtseadmete suure jõudlusega SIC-vahvlite tootmisel. Kvaliteetsete SIC-kristallide kasvatamise protsess on siiski olulisi väljakutseid. Alates äärmuslike termiliste gradientide haldamisest kuni kristallidefektide vähendamise, ühtlase kasvu tagamise ja tootmiskulude kontrollimiseni nõuab iga samm täiustatud tehnilisi lahendusi. Selles artiklis analüüsitakse SIC kristallide kasvu ahjude tehnilisi väljakutseid mitmest vaatenurgast.

Smart Cut on täiustatud pooljuhtide tootmisprotsess, mis põhineb ioonide implantatsioonil ja vahvli eemaldamisel, mis on spetsiaalselt loodud ülikerge ja väga ühtlase 3C-SIC (kuup-räni karbiidi) vahvlite tootmiseks. See võib kanda ülikergeid kristallmaterjale ühest substraadist teise, rikkudes seeläbi algseid füüsilisi piiranguid ja muutes kogu substraadi tööstust.

Kvaliteetsete ja kõrge saagikusega räni karbiidi substraatide valmistamisel nõuab südamik tootmistemperatuuri täpset kontrolli heade soojuselu materjalide abil. Praegu on peamiselt kasutatavad termilise välja tiigli komplektid suure puiduga grafiidi konstruktsioonikomponendid, mille funktsioonid on nii süsinikupulbri ja ränipulbri soojendamine kui ka soojuse säilitamine.

Kui näete kolmanda põlvkonna pooljuhte, mõtlete kindlasti, millised olid esimesed ja teise põlvkonna. Siin on "põlvkond" klassifitseeritud pooljuhtide tootmisel kasutatavate materjalide põhjal.

Elektrostaatiline padrun (ESC), tuntud ka kui elektrostaatiline padrun (ESC, E-Chuck), on kinnitus, mis kasutab adsorbeeritud materjali hoidmiseks ja kinnitamiseks elektrostaatilise adsorptsiooni põhimõtet. See sobib vaakumi- ja plasmakeskkonda.

SIC vahvlite kandjad, kui peamised tarbekaupade kolmanda põlvkonna pooljuhtide tööstusahelas, mõjutavad nende tehnilised omadused otseselt epitaksiaalse kasvu ja seadmete tootmise saagikust. Kuna SIC vahvlite kandjate uurimine ja rakendamine on suurepinge ja kõrge temperatuuriga seadmete nõudlus sellistes tööstusharudes nagu 5G tugijaamad ja uued energiasõidukid, seisavad SIC vahvlite kandjate uurimine ja rakendamine olulised arenguvõimalused.