CVD sic -katte grafiidi vastuvõtja

CVD SIC-katte grafiidide vastuvõtja on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstuses ülitäpseks tootmiseks. Grafiidi substraat on CVD-protsessi abil kaetud kõrge puhtusega SIC-kihiga, millel on suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus ja oksüdatsiooniresistentsus ning see võib kõrgel temperatuuril ja vaakumkeskkonnas pikka aega stabiilselt töötada. Seda pjedestaali kasutatakse laialdaselt MOCVD-s, PECVD-s, PVD-s ja muudes seadmetes, et toetada vahvlite ja muude ülitäpse materjali töötlemist ja käitlemist.

Põhieelised:

● Kõrge temperatuuri stabiilsus: Kõrge puhtusastmega grafiidil ise on suurepärane termiline stabiilsus. Pärast SIC -kattekihiga kaetud on see talub kõrgemat äärmuslikku keskkonda ja sobib pooljuhtide töötlemisel kõrgete temperatuuride jaoks.

● Nurkioontakistus: CVD sic -kattekiht on vastupidav happe ja leelise korrosiooni suhtes ning võib olla CVD protsessis pikk kasutusaja.

● Kõrge hArdness ja oksüdatsiooniresistentsus: CVD SIC -kattekihal on materjali stabiilsuse säilitamiseks kõrgel temperatuuril suurepärane kõvadus, kriimustusresistentsus ja oksüdatsiooniresistentsus.

● Hea soojusjuhtivus: Grafiidisubstraadi ja CVD SIC -kattekihi kombinatsioon muudab baasi suurepärase soojusjuhtivuse, mis võib soojust tõhusalt läbi viia ja tootmise tõhusust parandada.

Toote spetsifikatsioonid:

● Materiaalne: grafiitsubstraat + CVD sic kattekiht

● Katte paksus: saab kohandada vastavalt klientide vajadustele

● Kohaldatav keskkond: Kõrge temperatuur, vaakum, söövitav gaasikeskkond

Kohandatud teenus:

Pakume väga kohandatud teenuseid, et rahuldada klientide erinevate seadmete ja protsesside vajadusi. Kliendi konkreetse rakenduse kohaselt saab pakkuda grafiidi aluseid erineva katte paksusega, pinna töötlemise ja täpsustasemega.

Veteksemi on alati töötanud CVD Räni karbiidi kattetööstuses ja sellel on tööstuses juhtiv CVD SIC-katte grafiidipõhise tootmise ja tootmistasandil. Kui vajate rohkem tooteteavet või kohandatud teenuseid, pöörduge Vetek Semiconductori poole, pakume teile kogu südamest professionaalset tuge.

CVD SIC -kile kristallstruktuuri SEM -andmed:

See pooljuhtCVD SIC -katte grafiidisageduse tootepoed: