Uudised

Siit saate teada, kuidas VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) kaetud grafiitrõngad parandavad termilist stabiilsust, vähendavad saastumist ja pikendavad komponentide eluiga ränikarbiidi kristallide kasvu, epitaksi, CVD ja kõrge temperatuuriga pooljuhtprotsessides.

Avastage, kuidas CVD TaC kate parandab ränikarbiidi kristallide kasvu ja pooljuhtide tootmist ülikõrge termilise stabiilsuse, korrosioonikindluse, lisandite summutamise ja suurepärase jõudlusega MOCVD ja epitaksirakendustes.

Heitke pilk peamistele Aixtron G10 komponentidele kõrge temperatuuriga SiC epitaksisüsteemide jaoks. Käsitleme CVD SiC-ga kaetud grafiidiosi, TaC-katte komponente ja soojusvälja struktuure – ja seda, kuidas need aitavad tagada protsessi stabiilsust, puhtuse kontrolli ja vahvlite saagist täiustatud pooljuhtide tootmises.