Tööstusuudised

Kuna kasvav nõudlus SIC -materjalide järele elektrienergia, optoelektroonika ja muude põldude järele, saab SIC -i üksikute kristallide kasvutehnoloogia arendamine teaduslike ja tehnoloogiliste innovatsioonide võtmevaldkonnaks. SIC-i üksikute kristallide kasvuseadmete tuumina pälvib termiline väljakujundus jätkuvalt ulatuslikku tähelepanu ja põhjalikku uurimistööd.

Pideva tehnoloogilise arengu ja põhjalike mehhanismiuuringute kaudu eeldatakse, et 3c-sic heteroepitaksiaalsed tehnoloogia mängivad pooljuhtide tööstuses olulisemat rolli ja edendab ülitõhusate elektrooniliste seadmete arengut.

Ruumiline ALD, ruumiliselt isoleeritud aatomkihi ladestumine. Vahvli liigub erinevate positsioonide vahel ja puutub igas asendis kokku erinevate eelkäijatega. Allolev joonis on võrdlus traditsioonilise ALD ja ruumiliselt eraldatud ALD vahel.