Uudised

Veteksemicon särab 2025. aasta Shanghai SEMICONi rahvusvahelisel näitusel, juhtides pooljuhtide tööstuse tulevikku uuenduslike tehnoloogiatega

Pooljuhtide töötlevas tööstuses, kuna seadme suurus kahaneb, on õhukeste kilematerjalide sadestumistehnoloogia esitatud enneolematuid väljakutseid. Aatomkihi sadestumine (ALD) kui õhukese kilede sadestamise tehnoloogia, mis suudab aatomitasandil täpset kontrolli saavutada, on muutunud pooljuhtide tootmise hädavajalikuks osaks. Selle artikli eesmärk on tutvustada ALD protsesside voogu ja põhimõtteid, mis aitavad mõista selle olulist rolli kiibide arenenud tootmisel.

Ideaalne on ehitada integreeritud vooluringid või pooljuhtide seadmed täiuslikule kristalse aluse kihile. Pooljuhtide tootmise protsessi epitaksia (EPI) eesmärk on ühekristallilise substraadile ladestada peen ühekristalliline kiht, tavaliselt umbes 0,5 kuni 20 mikronit. Epitaksia protsess on oluline samm pooljuhtide seadmete valmistamisel, eriti ränivahvlite tootmisel.